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高配小型臭氧机一般由气源系统、臭氧发生器、电源系统、冷却水系统、PLC控制系统、臭氧投加系统及尾气破坏系统等几大部分组成。此外，还有大量的辅助设备如测量系统、阀门及管道等。

臭氧发生系统组成图

发生室系统流程示意图

下图为较为完备的发生室系统流程，但不是所有的设备流程都是这样，部分设备根据实际应用和客户要求进行了适当的调整和精简。